К МЕХАНИЗМУ МАССОПЕРЕНОСА ПРИ ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ

Автор(и)

  • В.А. Завадский
  • С.Н. Дранчук
  • В.А. Мокрицкий

Ключові слова:

эпитаксия, массоперенос, раствор-расплав, диффузионно-конвективный

Анотація

Целью данной работы является разработка и  решение математической модели эпитаксии слоев из жидкой фазы при диффузионно-конвективном механизме роста. Предложена и исследована модель массопереноса при росте слоев из раствора-расплава, ограниченного двумя горизонтально расположенными подложками при диффузионно-конвективном механизме роста и возникновении гомогенной кристаллизации в растворе-расплаве. Получены зависимости, определяющие скорость роста и толщину эпитаксиальных слоев на верхней и нижней подложках от условий проведения процесса эпитаксии, решение которых может быть использовано для совершенствования методов управления процессом жидкофазной эпитаксии.

Біографії авторів

В.А. Завадский

кандидат технічних наук, доцент , завідуючий кафедри, Національний університет «Одеська морська академія» (м. Одеса, Україна)

С.Н. Дранчук

кандидат технічних наук, доцент, Національний університет «Одеська морська академія» (м. Одеса, Україна)

В.А. Мокрицкий

доктор технічних наук, професор, Одеський національний політехнічний університет (м. Одеса, Україна)

##submission.downloads##

Опубліковано

2016-11-29

Як цитувати

Завадский, В., Дранчук, С., & Мокрицкий, В. (2016). К МЕХАНИЗМУ МАССОПЕРЕНОСА ПРИ ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ. Збірник наукових праць Військового інституту Київського національного університету імені Тараса Шевченка, (51), 42–48. вилучено із http://miljournals.knu.ua/index.php/zbirnuk/article/view/129

Номер

Розділ

ТЕХНІКА