К МЕХАНИЗМУ МАССОПЕРЕНОСА ПРИ ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ

Анотація

Целью данной работы является разработка и  решение математической модели эпитаксии слоев из жидкой фазы при диффузионно-конвективном механизме роста. Предложена и исследована модель массопереноса при росте слоев из раствора-расплава, ограниченного двумя горизонтально расположенными подложками при диффузионно-конвективном механизме роста и возникновении гомогенной кристаллизации в растворе-расплаве. Получены зависимости, определяющие скорость роста и толщину эпитаксиальных слоев на верхней и нижней подложках от условий проведения процесса эпитаксии, решение которых может быть использовано для совершенствования методов управления процессом жидкофазной эпитаксии.