ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА РОЯ ЧАСТИЦ ДЛЯ ОПТИМИЗАЦИИ ТРЕХУРОВНЕВЫХ ПЛАНОВ МНОГОФАКТОРНОГО ЭКСПЕРИМЕНТА

Анотація

Экспериментальные методы исследования все больше применяют для оптимизации производственных процессов. Планирование эксперимента позволяет получать их математические модели при минимальных стоимостных и временных затратах. Разработаны метод и программа оптимизации многофакторных планов эксперимента с варьированием факторов на трех уровнях с помощью алгоритма оптимизации роем частиц. Показана его  эффективность в сравнении с другими методами оптимизации многофакторных планов эксперимента. Работоспособность и эффективность подтверждается совпадением или приближением оптимальных планов, полученных этим методом и методом ветвей и границ. Проведен анализ известных методов синтеза оптимальных по стоимостным и временным затратам планов экспериментов с варьированем факторов на трех уровнях Работоспособность метода оптимизации роем частиц доказана на примере исследования шероховатости поверхности кремния при процессах глубокого плазмохимического травления элементов микроэлектромеханических систем (МЭМС) и при исследовании  метода измерения плотности тока гальванических ванн с использованием мерных датчиков.