ДВОПАРАМЕТРИЧНА ОПТИМІЗАЦІЯ ПЛАНУ ЕКСПЕРИМЕНТУ ПРИ ДОСЛІДЖЕННІ ШОРСТКОСТІ ПОВЕРХНІ КРЕМНІЮ В ПРОЦЕСАХ ГЛИБОКОГО ПЛАЗМОХІМІЧНОГО ТРАВЛЕННЯ МЕМС

Автор(и)

  • М.Д. Кошовий
  • Г.В. Малкова

DOI:

https://doi.org/10.17721/2519-481X/2021/71-04

Ключові слова:

план експерименту, початковий план, гравітаційний пошук, двопараметрична оптимізація, узагальнений критерій, нормуючі значення, вартість

Анотація

У науці і техніці все більше зростає необхідність раціонального використання праці вчених і інженерів, а також засобів виробництва – технічного обладнання і матеріалів. Одним з напрямків підвищення продуктивності наукової праці є застосування передових математичних методів і обчислювальних засобів. До таких методів відноситься планування експерименту. Його якісна і оптимальна реалізація дозволяє успішно вирішувати наукові, виробничі та технологічні проблеми.
В даний час широко використовують різні методи планування при проведенні досліджень. Планування експерименту припускає одночасну зміну всіх факторів, які впливають на досліджуваний процес, що дозволяє встановити ступінь взаємодії факторів і зменшити кількість експериментів. Доцільно проводити досліди при мінімальних вартісних витратах. Але в той же момент при плануванні ще одним важливим критерієм є час. Це особливо актуально при дослідженні дорогих і тривалих процесів. Тому мета планування експерименту полягає в створенні схеми, яка необхідна для отримання якомога більшої інформації при найменших витратах та з найкоротшою тривалістю дослідження. Більш точно планування експерименту можна визначити як процедуру вибору числа і умов проведення дослідів, достатніх для вирішення поставленого завдання з необхідною точністю. Важливою перевагою є його універсальність, придатність в величезній більшості областей.Об’єкт дослідження: процеси оптимізації планів багатофакторного експерименту за вартісними і часовими витратами. Предмет дослідження: метод двопараметричної оптимізації, розроблений на основі алгоритму гравітаційного пошуку з допомогою узагальненого критерію вартості та часу проведення експерименту.При дослідженні шорсткості поверхні кремнію в процесах глибокого плазмохімічного травлення МЕМС проаналізовано працездатність та ефективність методу двопараметричної оптимізації у порівнянні з початковим та оптимальним планами експерименту (без урахування узагальненого критерію).

##submission.downloads##

Опубліковано

2022-02-24

Як цитувати

Кошовий , М., & Малкова , Г. (2022). ДВОПАРАМЕТРИЧНА ОПТИМІЗАЦІЯ ПЛАНУ ЕКСПЕРИМЕНТУ ПРИ ДОСЛІДЖЕННІ ШОРСТКОСТІ ПОВЕРХНІ КРЕМНІЮ В ПРОЦЕСАХ ГЛИБОКОГО ПЛАЗМОХІМІЧНОГО ТРАВЛЕННЯ МЕМС. Збірник наукових праць Військового інституту Київського національного університету імені Тараса Шевченка, (71), 31–36. https://doi.org/10.17721/2519-481X/2021/71-04

Номер

Розділ

ВІЙСЬКОВА ТЕХНІКА І ТЕХНОЛОГІЇ ПОДВІЙНОГО ПРИЗНАЧЕННЯ